1、真空泵漏油
漏油是真空泵的常見故障之一，主要發生在真空泵的油窗、油箱密封墊、電機軸承軸封三個位置上，其主要原因是真空泵使用時間過長而引起這些部位老化，密封失效，從而導致漏油。
油窗漏油，是因為真空泵使用時間過長而使油窗老化，引起破裂，或油窗與油箱的粘合劑老化失效，從而導致泵油滲出；電機軸上有前油封和后油封兩個油封，任何一個老化失效都回引起漏油；油箱通過適配器與電機相連，油箱與適配器的結合處有一個密封圈，起到油箱的密封作用，如果它老化同樣可以引起真空泵漏油。另外，在適配器上有一個毛氈墊，它起回收泵油的作用，如果它吸油已滿，真空泵也會發生滲油。
解決漏油的法是更換老化的油窗、軸封、密封墊和已吸滿泵油的毛氈墊。維修完成后，注油前應用愛德華真空泵泵油沖洗真空泵，并用溶劑清洗注油口處的濾網，保持油箱的清潔。
2、真空泵抽不到的極限真空度
當該故障發生時，應當首先檢查真空系統的氣密性，看是否有輕微漏氣。
其次，應當打開氣鎮，讓泵運行30分鐘左右，來抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽，排除可壓縮蒸汽對極限真空度的影響。
在排除以上兩個因素后，引起真空泵抽不到極限真空度的主要原因有以下幾個方面：
泵油污染，需要換油；泵內油過濾器堵塞，引起壓縮注油系統油路不暢，供油不足，導致泵體密封不嚴，這時需要清洗內部油過濾器；配油器閥門變形，磨損或損壞，也可導致供油不足，這時應檢查更換配油器閥門；長時間使用引起真空泵的旋片磨損或轉子內的彈簧張力不足，導致吸氣室和排氣室隔離不嚴，從而引起真空泵的抽真空性能下降，這時應當更換旋片和彈簧，并清洗轉子和泵腔；檢查排氣閥門，觀看其動作是否失靈，導致排氣不暢，必要時更換排氣閥門。
3、真空泵的電機運轉中途停止
這是由于電壓太大、電源缺相油位超過油位下限，可以通過暫停使用、檢查電源來消除這樣的情況。如果啟動不正常，那么就是電氣組件故障，只要更換電氣組件就可以了。
4、真空泵進水
如果真空泵進水是由于冷卻器積水過多，水被抽到真空泵內處理的油中含水量多，其水蒸汽未能在冷卻器中冷卻成水而進入真空泵，可通過觀察冷卻器上的液位計，若水位過高，應及時放掉，應清洗真空泵，更換真空泵油消除這樣的情況。
